適用于8英寸及以下、晶圓獨立高溫柵偏試驗(HTGB)、高溫反偏試驗(HTRB)、Vth測試及老化篩選。系統符合并滿足JEP183、MIL-STD-750D、GJB128B、AEC-Q101等試驗標準;提供API接口,開放設備狀態、通道狀態、試驗數據、失效數據等對外接口,可部署在私有云或者公有云上,實現實驗室設備、工作人員、任務及數據的數字化管理,提升試驗效率及試驗規范化、標準化程度;配備老化夾具搬運機構,實現上下料機和老化測試臺之間老化夾具搬運;搬運機構具備自動升降功能,手動或自動運動到上下料機和測試臺,自動從上下料機和老化測試臺工位取放夾具;標配SMIF(天車專用版),SMIF需配置RFID,可以讀取POD ID(正面)和Cassette ID(右邊);配置E84通訊協議,以及配置Loadport天車搬運的安全擋板和光柵。
┃ 試驗數量 | 支持單chuck 2112 die 同時老化; |
┃ 試驗溫度 | 每區加熱臺室溫~200℃,準確性±2℃,溫度過沖≤3℃; |
┃ HTRB ┃ IDSS電流檢測 | 電壓0~2000V,分辨率1V; 0.1μA~1mA,分辨率0.1uA,檢測精度±(1%rdg.+2LSB) |
┃ HTGB ┃ IGSS電流檢測 | 電壓±60V,分辨率0.1V; 10pA~500uA,分辨率10pA,檢測精度±(1%rdg.+2LSB) |
┃ 閾值電壓檢測 ┃ 保護氣壓 | 0~10V,分辨率0.1V; 0~4bar惰性氣體 |